優(yōu)勢供應美國MKS Granville-Phillips發(fā)生器
MKS 傳感器 MKS Granville-Phillips MKS計量泵 MKS控制器 Granville-Phillips真空計
全系列產品大量現(xiàn)貨請咨詢上海茂碩機械設備有限公司

 MKS射頻功率發(fā)生器為薄膜處理設備提供可靠的固態(tài)功率。它們是半導體制造系統(tǒng)的重要組成部分，該系統(tǒng)可以生產現(xiàn)代計算機和電子設備所需的集成電路（IC）或芯片。MKS射頻發(fā)生器與我們的阻抗匹配網(wǎng)絡和我們的V / I探頭相結合，構成了一個完整的RF傳輸系統(tǒng)。

NOVA®系列RF發(fā)電機以2 MHz的頻率提供2,500或5,000瓦的額定輸出功率。NOVA系列發(fā)生器提供*的RF等離子生成和控制功能，可在薄膜處理應用中以低成本和高成品率提供。它們非常適合在集成電路，平板顯示器和數(shù)據(jù)存儲設備制造過程中進行等離子增強化學氣相沉積（PECVD），高密度等離子CVD（HDPCVD），蝕刻和其他薄膜應用。

• 自動頻率調整允許固定匹配的網(wǎng)絡進行更快的調整
• 出色的可靠性，可延長正常運行時間并降低擁有成本
• 自動負載失配保護可防止功率放大器過度耗散
• 無限的負載阻抗范圍，可提供更大的正向功率“凈空”，并能在任何負載下穩(wěn)定功率
• 主動式前面板可*控制發(fā)電機

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